三星演示3nm工艺 纳米片构造晶体管兼容FinFET设计

小刘

【手机中国新闻点】三星和台积电都开启了3nm制程工艺的研发,如今前者已经开始对外展示了一些3nm工艺的技术内容。三星在IEEE 国际固态电路会议上,向与会者分享了3nm GAE MBCEFET芯片的制造细节。

三星演示3nm工艺 纳米片构造晶体管兼容FinFET设计
(图侵删)

据介绍,三星GAAFET晶体管在构造上有两种形态,是目前FinFET的升级版。一是传统的GAAFET工艺,采用三层纳米线来构造晶体管,栅极比较薄;二是三星提出的MBCFET工艺,使用纳米片构造晶体管,完全兼容FinFET设计,不需要任何新的制造工具,同时可通过GAA结构减轻短沟道效应,还通过扩展通道面积来提高性能。

三星曾在2019年介绍过GAE工艺的原理,而且当时还宣布未来10年将会在包括代工业务在内的逻辑芯片业务上投资133兆韩元以超越台积电,成为全球第一大芯片代工厂。另外,GAE工艺相比7LPP工艺,可实现30%的性能提升,功耗降低50%,晶体管密度提升80%。

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